蒸鍍

薄膜的方法。屬於鍍膜中的一種,可大略分為物理蒸鍍(PVD)與化學蒸鍍(CVD)兩種。 接下來以PVD的真空蒸鍍來說明。 在達真空的容器中、將欲蒸鍍的材料加熱直至汽化昇華、並使此氣體附著於放置在附近的基板表面上、形成一層薄膜

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